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激光尘埃粒子计数器的传感技术与性能特点
激光尘埃粒子计数器的技术类型及其应用特点
激光尘埃粒子计数器在洁净室监控中因其精 准测量粒子数量与浓度而广泛被采用。这些计数器主要基于两种激光源：气体激光器和半导体激光器。
气体激光器：包括氦氖（HeNe）激光器和氩离子（Arg-Ion）激光器，自20世纪60年代初发展至今，因其产生高度单色且准直的光束（偏振光），被广泛用于高精度应用。气体激光器发出的光束为高斯型，通常不需额外光学元件即可使用。在需要通过光学空腔谐振器进行高精度测量的应用中，氦氖激光器因其较大的输出功率而被优先选择。
半导体激光器：自1962年被发明以来，随着技术的发展，这类激光器以其低成本、体积小、工作电压低及功耗低的优点逐渐取代气体激光器，特别是在成本敏感型应用中。半导体激光器通常发出椭圆形的光束，需通过复杂的光学系统调整以达到圆形光束的效果。
在实际应用中，尘埃粒子计数器通过激光散射原理，利用这些激光器发出的光束测量粒子数量和大小。气体激光器因产生单模光，在需要高分辨率和高敏感度的测量中特别有用。而半导体激光器以其成本效益和适用性，在多数工业应用中更受欢迎。
综上所述，两种激光器各有所长，应根据具体的应用需求和成本效益综合评估选择。尘埃粒子计数器的选用和操作应充分考虑激光源的性能特点，以保障测量结果的准确性和经济效益。
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